导读:胜科纳米申请纳米缺陷定位相关专利,制备软质薄膜实现硬质材料纳米缺陷精准定位
3月11日消息,国家知识产权局信息显示,胜科纳米(苏州)股份有限公司申请一项名为“一种基于原子力显微镜定位硬质材料表面纳米级缺陷的方法”的专利。申请公布号为CN121633554A,申请号为CN202511953323.7,申请公布日期为2026年3月10日,申请日期为2025年12月23日,发明人朱雷、请求不公布姓名、陈永鸿、谢家伦、李晓旻,专利代理机构北京品源专利代理有限公司,专利代理师崔永永,分类号G01Q60/24。
专利摘要显示,本发明涉及一种基于原子力显微镜定位硬质材料表面纳米级缺陷的方法,包括:在硬质材料的表面制备软质薄膜,通过原子力显微镜对所得表面修饰硬质材料扫描确定硬质材料表面的纳米级缺陷,并在纳米级缺陷的周侧所对应的软质薄膜上利用原子力显微镜中的纳米压痕探针进行非弹性压痕,得到缺陷标识,完成纳米级缺陷的定位。本发明在硬质材料的表面制备软质薄膜层,软质薄膜对硬质材料表面的纳米级缺陷形貌有记忆,不影响原有缺陷的形貌,且其存在不会影响光学透过,进而不影响原子力显微镜快速寻找纳米级缺陷的位置,同时在其上可以产生足够深度的标识,进而有效实现硬质材料表面的纳米级缺陷的精准定位。
天眼查数据显示,胜科纳米(苏州)股份有限公司成立日期2012年8月17日,法定代表人李晓旻,所属行业为专业技术服务业,企业规模为大型,注册资本40331.1486万人民币,实缴资本36298.0337万人民币,注册地址为苏州工业园区朝前路9号。胜科纳米(苏州)股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目42次,财产线索方面有商标信息68条,专利信息109条,拥有行政许可25个。
胜科纳米(苏州)股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种用于分析多孔材料的二次离子质谱分析的样品制备方法及其应用 | 发明专利 | 公布 | CN202610130214.3 | 2026-01-30 | CN121595286A | 2026-03-03 | 赵弇斐、朱雷、王志愿、李晓旻 |
| 2 | 一种基于原子力显微镜定位硬质材料表面纳米级缺陷的方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511953323.7 | 2025-12-23 | CN121633554A | 2026-03-10 | 朱雷、请求不公布姓名、陈永鸿、谢家伦、李晓旻 |
| 3 | 一种半导体集成电路晶圆的储存装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511718249.0 | 2025-11-21 | CN121573327A | 2026-02-27 | 华佑南、王传增、陈隆基、陈超、李晓旻 |
| 4 | 一种表面非平整材料的DSIMS样品制备方法 | 发明专利 | 授权 | CN202511248062.9 | 2025-09-03 | CN120741106B | 2025-11-11 | 廖金枝、朱雷、李雯、张兮、华佑南、李晓旻 |
| 5 | 半导体微观结构尺寸测量方法及装置 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202511134504.7 | 2025-08-14 | CN120726112B | 2025-11-04 | 朱文飞、张俊林、王玉柱、李晓旻 |
| 6 | 一种服务任务生成方法、装置、电子设备及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511131558.8 | 2025-08-13 | CN121010387A | 2025-11-25 | 吕尤、张俊林、王玉柱、李晓旻 |
| 7 | 一种薄膜的结合力检测方法、装置、设备及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511022747.1 | 2025-07-24 | CN120820481A | 2025-10-21 | 张兮、林子霖、廖金枝、刘兵海、李晓旻 |
| 8 | 一种芯片截面结构研磨中精确定位的无损方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202510999351.6 | 2025-07-21 | CN120480677B | 2025-09-16 | 朱雷、王岩松、梁伟德、李晓旻 |
| 9 | 一种金焊盘的互联质量检测方法、装置、设备及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510993872.0 | 2025-07-18 | CN120685937A | 2025-09-23 | 张兮、潘京方、朱雷、廖金枝、刘兵海、李晓旻 |
| 10 | 一种用于刻蚀深孔内微量元素分析的制样及检测方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510967585.2 | 2025-07-14 | CN120651620A | 2025-09-16 | 赵弇斐、许海磊、朱雷、王志愿、袁晖鸿、黄晋华、孙杰、李晓旻 |
| 11 | 一种TEM样品及其制备方法和应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510673237.4 | 2025-05-23 | CN120538900A | 2025-08-26 | 陈晓彬、廖晓强、刘兵海、施志洋、李京军、李晓旻 |
| 12 | 一种颗粒物的能谱分析方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510392430.0 | 2025-03-31 | CN120009324A | 2025-05-16 | 施志洋、李唯杰、李京军、廖晓强、李晓旻 |
| 13 | 一种缺陷检测方法、装置、设备及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510217141.7 | 2025-02-26 | CN120044270A | 2025-05-27 | 朱雷、徐可、陈永鸿、谢家伦、李晓旻 |
| 14 | 一种半导体芯片样品截面的定位研磨系统及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510116707.7 | 2025-01-24 | CN119734193A | 2025-04-01 | 朱雷、王岩松、梁伟德、李晓旻 |
| 15 | X射线无损分析装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422226967.3 | 2024-09-11 | CN223065205U | 2025-07-04 | 陈超、陈隆基、华佑南、李晓旻 |
| 16 | 一种芯片缺陷区域确定方法、装置、设备及存储介质 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202411245302.5 | 2024-09-06 | CN118762014B | 2024-12-03 | 刘霖、朱文飞、王玉柱、谢紫敏、张兮、李晓旻 |
| 17 | 芯片研磨清洗装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422017447.1 | 2024-08-20 | CN223236003U | 2025-08-19 | 吴梅花、陈超、陈隆基、华佑南、李晓旻 |
| 18 | 能谱成像方法、装置、设备和存储介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202410726079.X | 2024-06-06 | CN118298425B | 2024-10-11 | 朱文飞、刘兵海、王玉柱、华佑南、李晓旻 |
| 19 | 一种SCM测试样品及其制备方法和应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410512763.8 | 2024-04-26 | CN118425564A | 2024-08-02 | 朱雷、许峻达、王岩松、梁伟德、徐可、赵弇斐、李晓旻 |
| 20 | 一种片材夹具、片材夹持方法以及热机械分析仪 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410469349.3 | 2024-04-18 | CN118357868A | 2024-07-19 | 杨慧、杨凌、刘凌霄、乔明胜、李晓旻 |
| 21 | 一种电路板中的盲孔失效分析方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202410444853.8 | 2024-04-15 | CN118032863B | 2024-06-14 | 谢紫敏、杨春梅、卫素素、仲跃、张兮、李晓旻 |
| 22 | 一种微型麦克风多层载板的短路失效分析方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202410447658.0 | 2024-04-15 | CN118032857B | 2024-06-14 | 谢紫敏、仲跃、王丽雪、李晓旻 |
| 23 | 一种半导体芯片研磨用的自动点珠装置 | 实用新型 | 授权 | CN202420709028.1 | 2024-04-08 | CN222038115U | 2024-11-22 | 罗晓丹、陈超、李晓旻 |
| 24 | 一种用于失效分析研磨制样的半导体样品及其制备方法和用途 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202410416105.9 | 2024-04-08 | CN118294235B | 2025-01-28 | 罗晓丹、崔康伟、陈超、华佑南、李晓旻 |
| 25 | 一种基于硅不同掺杂类型膜层刻蚀残留的检测方法 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202410400790.6 | 2024-04-03 | CN118280863B | 2025-01-28 | 赵弇斐、朱雷、李晓旻 |
| 26 | FIB预处理制样盒 | 实用新型 | 授权 | CN202420655723.4 | 2024-04-01 | CN222232146U | 2024-12-24 | 施志洋、廖晓强、李晓旻 |
| 27 | 一种线切割装置 | 实用新型 | 授权 | CN202420505106.6 | 2024-03-15 | CN221911337U | 2024-10-29 | 李京军、施志洋、彭城、李晓旻 |
| 28 | 一种晶圆中心定位装置、晶圆检测设备及中心定位方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311822663.7 | 2023-12-27 | CN117637571A | 2024-03-01 | 赵弇斐、朱雷、李晓旻 |
| 29 | 一种晶圆中心定位装置及晶圆检测设备 | 实用新型 | 授权 | CN202323589140.0 | 2023-12-27 | CN221486466U | 2024-08-06 | 赵弇斐、朱雷、李晓旻 |
| 30 | 一种封装芯片的三维截面样品及其制备方法 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202311431857.4 | 2023-10-31 | CN117476490B | 2025-08-19 | 刘媛媛、张林华、华佑南、施志洋、孙杰、陈超、罗晓丹、李晓旻 |
| 31 | 一种光纤异物检测装置及其制备方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202311089085.0 | 2023-08-28 | CN116773577B | 2023-10-31 | 朱雷、张玲玲、赵弇斐、李晓旻 |
| 32 | 一种热电子器件 | 实用新型 | 授权 | CN202321660558.3 | 2023-06-28 | CN220173717U | 2023-12-12 | 朱雷、梁伟德、郭晋豪、迪内史瓦兰·奈度·古纳兰、阿图·拉格·阿南德、张兮、李晓旻 |
| 33 | 一种用于半导体芯片透射电镜样品分析的样品架 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202310755692.X | 2023-06-26 | CN116559496A | 2023-08-08 | 罗晓丹、朱超、曹后平、华佑南、李晓旻 |
| 34 | 一种用于半导体芯片透射电镜样品分析的样品架 | 实用新型 | 授权 | CN202321631986.3 | 2023-06-26 | CN219935883U | 2023-10-31 | 罗晓丹、朱超、曹后平、华佑南、李晓旻 |
| 35 | 一种3DNADA闪存垂直通道的超薄电镜样品及其制样方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310381406.8 | 2023-04-11 | CN116337903B | 2023-12-22 | 黄萍、董磊磊、黄晋华、郑海鹏、华佑南、李晓旻 |
| 36 | 一种高阶芯片的失效分析方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310339554.3 | 2023-03-31 | CN116298810B | 2023-11-21 | 张林华、刘瑶、侯增、华佑南、李晓旻 |
| 37 | 一种平面透射电镜样品的制备方法及平面透射电镜样品 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310339799.6 | 2023-03-31 | CN116242683B | 2024-06-11 | 李金磊、李晓敏、金灵芝、徐聪、黄晋华、华佑南、李晓旻 |
| 38 | 一种超薄悬空膜透射电镜样品的制备方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310336556.7 | 2023-03-31 | CN116380582B | 2024-09-20 | 李金磊、李晓敏、缪睿、黄晋华、郑海鹏、华佑南、李晓旻 |
| 39 | 一种芯片检测及失效分析过程中的剥层方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202310328809.6 | 2023-03-30 | CN116337910A | 2023-06-27 | 刘瑶、赵一成、张林华、华佑南、李晓旻 |
| 40 | 一种填胶装置 | 实用新型 | 授权 | CN202320664191.6 | 2023-03-30 | CN219291870U | 2023-07-04 | 刘兵海、张兮、华佑南、李晓旻 |
| 41 | 一种填胶装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202310326784.6 | 2023-03-30 | CN116371676A | 2023-07-04 | 刘兵海、张兮、华佑南、李晓旻 |
| 42 | 一种测试盘及芯片失效分析测试的方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310328968.6 | 2023-03-30 | CN116338262B | 2023-12-12 | 居赛、穆燕、罗晓丹、华佑南、李晓旻 |
| 43 | 一种夹具及X射线成像系统 | 实用新型 | 授权 | CN202320643895.5 | 2023-03-28 | CN219475447U | 2023-08-04 | 张林华、施志洋、顾秋燕、华佑南、李晓旻 |
| 44 | 一种用于有机体器件内部异物分析的制样及检测方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310305846.5 | 2023-03-27 | CN116577300B | 2024-08-20 | 朱雷、潘京方、陈永鸿、刘兵海、梁伟德、华佑南、李晓旻 |
| 45 | 一种采用红外光谱分析表面分散污染物的方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310297986.2 | 2023-03-24 | CN116223427B | 2023-12-19 | 潘京方、朱雷、华佑南、李晓旻 |
| 46 | 一种芯片去层方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310297123.5 | 2023-03-24 | CN116230528B | 2024-01-09 | 赵一成、邓龙、戴最初、宋健、李晓旻 |
| 47 | 一种待XPS能谱分析的样品和分析定位方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310290092.0 | 2023-03-23 | CN116297598B | 2024-06-25 | 朱雷、赵弇斐、胡团桥、刘瑶、黄凡、李晓旻 |
| 48 | 一种具有梳齿结构芯片的梳齿层去除方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202310063255.1 | 2023-01-18 | CN115849298B | 2023-05-09 | 赵一成、徐万里、赵雪冰、李晓旻 |
| 49 | 一种缺陷分析方法、装置、电子设备及存储介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202211739371.2 | 2022-12-30 | CN115908402B | 2023-10-03 | 刘媛媛、王玉柱、施志洋、华佑南、罗晓丹、李晓旻 |
| 50 | 一种缺陷定位方法、装置、电子设备及存储介质 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202211719253.5 | 2022-12-30 | CN116013800B | 2024-02-27 | 许仕轩、侯增、张沛、罗晓丹、华佑南、李晓旻 |
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