恒运昌：2026年限制性股票激励计划考核管理办法

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司2026年限制性股票激励计划考核管理办法

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称“公司”）为完善内部长效激励与约束机制，吸引和留住优秀人才，充分调动核心人员的工作积极性和创造性，实现持续、健康发展，按照收益与贡献对等原则，推出2026年限制性股票激励计划（以下简称“本激励计划”）。

为保证本激励计划顺利实施，公司根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司股权激励管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《科创板上市公司自律监管指南第4号――股权激励信息披露》《公司章程》《2026年限制性股票激励计划（草案）》等有关规定，结合实际情况，制订《2026年限制性股票激励计划考核管理办法》（以下简称“本办法”）。

一、考核目的

确保本激励计划顺利实施，完善长效激励与约束机制，促进公司发展战略和经营目标实现。

二、考核原则

考核评价工作坚持公正、公开、公平的原则，与激励对象的工作绩效紧密挂钩，发挥良好的激励与约束作用。

三、考核对象

本办法适用于本激励计划确定的激励对象，可包括公司董事、高级管理人员、核心技术人员以及公司（含子公司）其他核心员工，不包括公司独立董事、单独或合计持有公司5%以上股份的股东或实际控制人及其配偶、父母、子女。首次授予的激励对象均为公司（含子公司）核心员工。所有激励对象经公司董事会薪酬与考核委员会核实确定。

四、考核机构

公司董事会薪酬与考核委员会负责领导、组织考核工作；公司人力资源部、财务部等相关部门组成考核小组，负责相关考核数据的收集和提供，对相关考核数据的真实性和可靠性负责；公司董事会负责考核结果的审核。

五、考核标准

（一）公司层面业绩考核本激励计划设置公司层面业绩考核，首次授予的限制性股票归属对应的考核年度为2026年-2029年四个会计年度，每个会计年度考核一次，具体如下：

归属安排

若本激励计划预留授予的限制性股票于2026年第三季度报告披露之前授予，则预留授予的限制性股票归属对应的考核年度及业绩考核目标与首次授予的限制性股票归属对应的考核年度及业绩考核目标一致。

若本激励计划预留授予的限制性股票于2026年第三季度报告披露之后授予，则预留授予的限制性股票归属对应的考核年度为2027年-2029年三个会计年度，每个会计年度考核一次。公司层面业绩考核目标如下：

归属期

注

：上述“营业收入”指标均以经审计的公司合并财务报表所载数据作为计算依据；注

：上述“主要产品销售量”以各考核年度年度报告披露的相关泛半导体设备核心零部件销售量合计数为核算依据。2025年度主要产品销售量为9,243台（含等离子体射频电源5,103台、匹配器3,893台、其他产品

台）；注

：上述公司层面业绩考核不构成公司对投资者的业绩预测和实质承诺。各归属期内，公司层面未满足触发值（An）业绩考核的，所有激励对象当期计划归属的限制性股票不得归属，并作废失效。

（二）个人层面绩效考核本激励计划设置个人层面绩效考核，激励对象的个人绩效考核按照公司（含子公司）薪酬与考核相关制度执行。各归属期内，公司依据相应考核年度的激励对象个人绩效考核结果，确定激励对象当期个人层面可归属比例，具体如下：

各归属期内，激励对象当期实际可归属的限制性股票数量=激励对象当期计划归属的限制性股票数量×公司层面可归属比例×个人层面可归属比例，因未满足考核而未能归属的限制性股票不得归属，并作废失效。

六、考核结果管理

（一）激励对象有权了解个人绩效考核结果，公司董事会薪酬与考核委员会应当在考核工作结束后

个工作日内将个人绩效考核结果通知激励对象。激励对象的个人绩效考核记录由公司人力资源部作为保密资料归档保存，不允许涂改，如需重新修改或重新记录的，须考核记录员签字。

（二）激励对象对个人绩效考核结果有异议的，可与公司人力资源部沟通解决。如激励对象无法与公司人力资源部沟通解决的，可向公司董事会薪酬与考核委员会申诉；公司董事会薪酬与考核委员会需自收到激励对象申诉之日起

个工作日内开展复核工作，确定激励对象最终个人绩效考核结果。

（三）各归属期内，视公司层面业绩考核和个人层面绩效考核情况，公司相应办理限制性股票归属登记/作废失效事项。

七、附则

（一）本办法由公司董事会负责解释。本办法所涉条款，如与国家法律、行政法规、规范性文件、本激励计划（草案）相冲突的，按照国家法律、行政法规、规范性文件、本激励计划（草案）的规定执行。本办法未明确条款，按照国家法律、行政法规、规范性文件、本激励计划（草案）的规定执行。

（二）本办法依据的法律、法规、规章、规范性文件等发生变化的，以变化后的规定为准。

（三）本办法由公司股东会审议通过，自本激励计划正式实施后生效。

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司董事会

2026年9月4日