中微公司：2026年半年度业绩预告的自愿性披露公告

中微半导体设备(上海)股份有限公司 2026 年半年度业绩预告的自愿性披露公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏,并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示:

?中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“公司”)预计2026 年半年度营业收入约66.91 亿元,同比增加约17.31 亿元,同比增长约34.89%。

?公司预计2026 年半年度实现归属于母公司所有者的净利润为27 亿元到 29 亿元,同比增加282.48%到310.81%。

公司已开发出54 种高端半导体设备,包括26 种高能和低能等离子体刻 蚀机设备,24 种各类薄膜设备、化学机械抛光设备和量检测设备。刻蚀和薄膜设 备的加工的精度已经达到了原子级水平。截至2026 年6 月底,公司累计已有超 过8800 个反应台在国内外220 余条生产线实现量产。公司新产品研发速度显著 加快,未来公司有望更大规模地推出有竞争力的新设备,并顺利进入市场。2026 年上半年公司研发投入约20.42 亿元,同比增加5.50 亿元,同比增长约36.89%, 2026 年上半年研发投入占公司营业收入比例约为30.52%,远高于科创板上市公 司的平均研发投入水平(10%~15%)。

一、本期业绩预告情况

(一)业绩预告期间

2026 年1 月1 日至2026 年6 月30 日。

(二)业绩预告情况

1.经财务部门初步测算,公司预计2026 年半年度实现归属于母公司所有者 的净利润为27 亿元到29 亿元,同比增加282.48%到310.81%。

2.经财务部门初步测算,公司预计2026 年半年度实现归属于母公司所有者 的扣除非经常性损益的净利润为10 亿元到12亿元,同比增加85.61%到122.73%。

(三)本次业绩预告未经注册会计师审计。

二、上年同期业绩情况

2025 年上半年度,公司营业收入49.61 亿元,实现归属于母公司所有者的净 利润7.06 亿元,归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润5.39 亿元。

三、本期业绩变化的主要原因

公司2026 年上半年业绩预计较上年同期变化的主要原因如下:

1、2026 年上半年,公司营业收入约66.91 亿元,同比增长约34.89%。公司 站在先进制程工艺发展的最前沿,坚持技术的创新、产品的差异化和知识产权保 护的基本原则。坚持原创的设计,和国际领先的半导体客户公司同步前行。公司 目前在研项目涵盖六类设备,超二十款新设备的开发。公司研发新产品的速度显 著加快,过去通常需要三到五年开发一款新设备,现在只需两年或更短时间就能 开发出有竞争力的新设备,并顺利进入市场,公司有望在未来几年更大规模地推 出新产品。公司持续加大研发创新力度,自主开发的各类新产品对标国际先进同 类设备技术水准,多款机型经客户端验证,关键性能指标达到国际先进水平,部 分指标优于海外标配设备。

2、2026 年上半年,公司归母净利润为27 亿元到29 亿元,同比增加19.94 亿元至21.94 亿元(增长约282.48%到310.81%)的主要原因:(1)2026 年上半

年营业收入增长34.89%,毛利较去年增长约6.82 亿元;(2)2026 年上半年公 司研发投入约20.42 亿元,同比增加5.50 亿元(增长约36.89%),2026 年上半 年研发投入占公司营业收入比例约为30.52%,远高于科创板上市公司的平均研 发投入水平(10%~15%)。2026 年上半年研发费用约13.10 亿元,较去年增长约 1.93 亿元(增长约17.31%);(3)经评估师评估初步结果,公司以公允价值计 量且其变动计入当期损益的对外股权投资于2026 年上半年产生公允价值变动收 益和投资收益合计约19.82 亿元,较2025 年上半年的1.68 亿元增加约18.15 亿 元。

3、2026 年上半年,公司扣非后归母净利润为10 亿元到12 亿元,同比增加 4.61 亿元至6.61 亿元(增长约85.61%到122.73%)的主要原因:2026 年上半年 营业收入增长34.89%,毛利较去年增长约6.82 亿元,以及2026 年上半年研发费 用较去年增长约1.93 亿元。

四、风险提示

公司不存在影响本次业绩预告内容准确性的重大不确定因素。

五、其他说明事项

以上预告数据仅为初步核算数据,具体准确的财务数据以公司正式披露的 2026 年半年报为准,敬请广大投资者注意投资风险。

特此公告。

中微半导体设备(上海)股份有限公司董事会

2026 年8 月4 日