导读:晶创智能装备等3家公司共同申请硅芯炉热场相关专利,该技术可主动补偿硅芯炉热场径向温差
9月9日消息,国家知识产权局信息显示,宁夏晶创智能装备有限公司、包头芯源硅半导体材料有限公司、浙江晶盛机电股份有限公司申请一项名为“硅芯炉热场控制方法、装置、设备、存储介质及系统”的专利。申请公布号为CN122707234A,申请号为CN202610897241.3,申请公布日期为2026年9月8日,申请日期为2026年6月22日,发明人周韬、段文昌、张小利、张振华、闫利军,专利代理机构杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙),专利代理师安佳伟,分类号C30B15/00、C30B29/06、C30B15/20、C30B15/14。
专利摘要显示,本申请提供了一种硅芯炉热场控制方法、装置、设备、存储介质及系统,属于硅芯制备技术领域,解决了现有技术硅芯炉内的热场难以调节平衡的问题。本申请的硅芯炉热场控制方法利用热场内圈熔体与外圈熔体对功率变化的热响应时间差,向主加热器电源注入特定频率的功率脉冲;对脉冲的正负脉宽占空比进行不对称调制,在时域上形成定向的时均净热量空间再分配效应,抵消热场本征的径向温差。本申请通过热响应时间差驱动的脉冲调制与闭环直径反馈相结合,在不增加加热总功率的前提下,实现了热场径向温差的主动补偿,显著提高了多棒硅芯的直径一致性。
天眼查数据显示,宁夏晶创智能装备有限公司成立日期2021年5月31日,法定代表人石刚,所属行业为专用设备制造业,企业规模为小型,注册资本3000万人民币,实缴资本,注册地址为宁夏银川市西夏区银巴路以南济民路以北宏图南街以西。宁夏晶创智能装备有限公司共对外投资了0家企业,参与招投标项目10次,财产线索方面有商标信息0条,专利信息36条,拥有行政许可4个。
宁夏晶创智能装备有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种硅芯炉的生长控制方法、系统以及硅芯炉 | 发明专利 | 公布 | CN202610912969.9 | 2026-06-23 | CN122669484A | 2026-09-01 | 周韬、段文昌、陈玲、温馨、福德、李大平 |
| 2 | 硅芯提拉装置、硅芯炉、方法、设备及存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202610902270.4 | 2026-06-22 | CN122707235A | 2026-09-08 | 周韬、段文昌、高原、张廉政、陈玲、温馨 |
| 3 | 硅芯炉热场控制方法、装置、设备、存储介质及系统 | 发明专利 | 公布 | CN202610897241.3 | 2026-06-22 | CN122707234A | 2026-09-08 | 周韬、段文昌、张小利、张振华、闫利军 |
| 4 | 一种光伏清扫机器人的路径规划方法以及相关装置 | 发明专利 | 公布 | CN202610645289.5 | 2026-05-11 | CN122688956A | 2026-09-04 | 周韬、段文昌、张振华、高原、张小利、闫利军 |
| 5 | 一种晶体生长合成炉 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610075965.X | 2026-01-20 | CN121951703A | 2026-05-01 | 段文昌、常博坤、王中华 |
| 6 | 碳化硅晶体生长炉和方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511759010.8 | 2025-11-26 | CN121700506A | 2026-03-20 | 胡建荣、闫朝阳、欧阳鹏根、汪传勇、乔发、黄俊 |
| 7 | 单晶炉副炉室清理装置及清理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510045925.6 | 2025-01-13 | CN119956467A | 2025-05-09 | 曹国峰、段文昌、李安乐、闫利军 |
| 8 | 一种8英寸碳化硅晶体生长炉 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411970511.6 | 2024-12-30 | CN119932718A | 2025-05-06 | 段文昌、曹国峰、李安乐 |
| 9 | 一种N型4H-SiC关键生长装备 | 实用新型 | 授权 | CN202423279838.7 | 2024-12-30 | CN223576653U | 2025-11-21 | 段文昌、曹国峰、李安乐 |
| 10 | 一种易对中攀爬式副室清理机 | 实用新型 | 授权 | CN202423180558.0 | 2024-12-23 | CN223698601U | 2025-12-23 | 段文昌、王中华、李安乐 |
| 11 | 一种热场氧化物就地打磨清理用特种作业车 | 实用新型 | 授权 | CN202423180974.0 | 2024-12-23 | CN223762918U | 2026-01-06 | 段文昌、曹国峰、李安乐 |
| 12 | 除尘设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422730500.2 | 2024-11-08 | CN223352435U | 2025-09-19 | 曹国峰、周韬、段文昌 |
| 13 | 一种重锤放置装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422669138.2 | 2024-11-01 | CN223277958U | 2025-08-29 | 曹国峰、周韬、段文昌 |
| 14 | 一种工装车 | 实用新型 | 授权 | CN202422669176.8 | 2024-11-01 | CN223290902U | 2025-09-02 | 曹国峰、周韬、段文昌 |
| 15 | 气动滚筒毛刷装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422594801.7 | 2024-10-25 | CN223232324U | 2025-08-19 | 周韬、曹国峰、段文昌 |
| 16 | 清理设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422571277.1 | 2024-10-23 | CN223352300U | 2025-09-19 | 曹国峰、段文昌、李超 |
| 17 | 破碎清理设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422450633.4 | 2024-10-10 | CN223276308U | 2025-08-29 | 李勇、曹国峰、王晓明、段文昌 |
| 18 | 单晶炉清洁装置 | 实用新型 | 授权 | CN202421795229.4 | 2024-07-26 | CN222919267U | 2025-05-30 | 李勇、段文昌、史泽宝、王中华 |
| 19 | 一种用于晶体生长炉维护的拆卸结构 | 实用新型 | 授权 | CN202322448644.4 | 2023-09-09 | CN220863867U | 2024-04-30 | 李勇、曹国峰 |
| 20 | 一种晶体生长提拉装置 | 实用新型 | 授权 | CN202321865453.1 | 2023-07-17 | CN220284288U | 2024-01-02 | 曹国峰、李勇、李翔 |
天眼查数据显示,包头芯源硅半导体材料有限公司成立日期2026年1月23日,法定代表人傅林坚,所属行业为计算机、通信和其他电子设备制造业,企业规模为大型,注册资本20000万人民币,实缴资本,注册地址为内蒙古自治区包头市昆都仑区金属深加工园区拓业路1号-16、17、18、19、20、21。包头芯源硅半导体材料有限公司共对外投资了0家企业,参与招投标项目0次,财产线索方面有商标信息0条,专利信息5条,拥有行政许可0个。
包头芯源硅半导体材料有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种硅芯炉的生长控制方法、系统以及硅芯炉 | 发明专利 | 公布 | CN202610912969.9 | 2026-06-23 | CN122669484A | 2026-09-01 | 周韬、段文昌、陈玲、温馨、福德、李大平 |
| 2 | 硅芯提拉装置、硅芯炉、方法、设备及存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202610902270.4 | 2026-06-22 | CN122707235A | 2026-09-08 | 周韬、段文昌、高原、张廉政、陈玲、温馨 |
| 3 | 硅芯炉热场控制方法、装置、设备、存储介质及系统 | 发明专利 | 公布 | CN202610897241.3 | 2026-06-22 | CN122707234A | 2026-09-08 | 周韬、段文昌、张小利、张振华、闫利军 |
| 4 | 一种硅芯生长炉和硅料生长的控制方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202411803060.7 | 2024-12-09 | CN119530950A | 2025-02-28 | 曹建伟、朱亮、倪军夫、王嘉杰、田川川 |
| 5 | 一种硅芯生长炉和硅芯加工方法 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、实质审查的生效、公布 | CN202411802942.1 | 2024-12-09 | CN119615351A | 2025-03-14 | 曹建伟、朱亮、倪军夫、王嘉杰、田川川 |
晶盛机电是全球领先的晶体生长设备龙头企业,核心产品覆盖半导体、光伏领域关键装备,具备全产业链布局的差异化竞争优势。公司成立于2006年12月14日,2012年5月11日于深圳证券交易所上市,注册地为浙江省,办公地为浙江省。
公司主营业务为晶体生长设备及其控制系统的研发、制造和销售,所属申万行业为电力设备-光伏设备-光伏加工设备,同时布局功率半导体、TOPCon电池、BC电池相关概念板块。
2026年上半年,晶盛机电实现营业收入34.52亿元,在12家同行业可比公司中位列第一,大幅高于同期行业平均18.39亿元、行业中位数18.85亿元的水平,较第二名迈为股份的29.09亿元营收规模优势显著;当期公司实现净利润1.84亿元,行业排名第6位,高于行业平均1.15亿元与行业中位数1.43亿元水平,头部捷佳伟创、拉普拉斯分别以3.75亿元、3.18亿元位列净利润榜前两位。从主营业务构成来看,设备及其服务营收21.66亿元,占总营收比重62.86%;材料业务营收10.87亿元,占比31.55%;其他业务营收1.93亿元,占比5.59%。
| 指标类别 | 具体指标 | 数值情况 | 行业排名 | 可比行业数据 |
|---|---|---|---|---|
| 营收表现 | 2026年上半年营业收入 | 34.52亿元 | 1/12 | 行业均值18.39亿元、行业中位数18.85亿元,第二名迈为股份29.09亿元 |
| 利润表现 | 2026年上半年净利润 | 1.84亿元 | 6/12 | 行业均值1.15亿元、行业中位数1.43亿元,第一名捷佳伟创3.75亿元、第二名拉普拉斯3.18亿元 |
| 营收结构 | 设备及其服务营收占比 | 62.86%(21.66亿元) | - | - |
| 营收结构 | 材料业务营收占比 | 31.55%(10.87亿元) | - | - |
| 营收结构 | 其他业务营收占比 | 5.59%(1.93亿元) | - | - |
浙江晶盛机电股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种缺陷检测装置、缺陷检测设备及晶圆缺陷检测方法 | 发明专利 | 公布 | CN202611207448.X | 2026-08-10 | CN122709476A | 2026-09-08 | 刘华、吴霏霏、苏奥远、李贞周、武斌、傅林坚 |
| 2 | 晶片抛光参数的调整方法及装置 | 发明专利 | 公布 | CN202610953655.3 | 2026-06-29 | CN122476891A | 2026-07-28 | 刘华、赵翔宇、杨洁、李阳健、傅林坚 |
| 3 | 晶棒加工方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610953137.1 | 2026-06-29 | CN122584521A | 2026-08-18 | 王金荣、朱亮、曹建伟、白庆豪、王晓锋、胡银纲 |
| 4 | 一种硅芯炉的生长控制方法、系统以及硅芯炉 | 发明专利 | 公布 | CN202610912969.9 | 2026-06-23 | CN122669484A | 2026-09-01 | 周韬、段文昌、陈玲、温馨、福德、李大平 |
| 5 | 一种蓝宝石晶体加工方法、装置、系统以及蓝宝石片 | 发明专利 | 公布 | CN202610911705.1 | 2026-06-23 | CN122703649A | 2026-09-08 | 周锋、石刚、张军、康盆伟、何强 |
| 6 | 硅芯提拉装置、硅芯炉、方法、设备及存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202610902270.4 | 2026-06-22 | CN122707235A | 2026-09-08 | 周韬、段文昌、高原、张廉政、陈玲、温馨 |
| 7 | 硅芯炉热场控制方法、装置、设备、存储介质及系统 | 发明专利 | 公布 | CN202610897241.3 | 2026-06-22 | CN122707234A | 2026-09-08 | 周韬、段文昌、张小利、张振华、闫利军 |
| 8 | 白光测厚装置、化学机械抛光系统及白光测厚方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610867722.X | 2026-06-16 | CN122378578A | 2026-07-14 | 王悦、朱亮、邓耀敏、俞晨阳、朱宏钰、张永龙 |
| 9 | 晶圆表面薄膜平坦度的检测方法、装置及电子设备 | 发明专利 | 公布 | CN202610866176.8 | 2026-06-16 | CN122442506A | 2026-07-24 | 王悦、朱亮、邓耀敏、俞晨阳、朱宏钰、邓兆哲 |
| 10 | 一种双面抛光机的旋转接头和双面抛光机 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610874285.4 | 2026-06-16 | CN122606467A | 2026-08-21 | 朱亮、欧阳鹏根、庞浩、李阳健、陈道光、骆万钞 |
| 11 | 蓝宝石长晶装置、长晶炉及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610864347.3 | 2026-06-15 | CN122522391A | 2026-08-07 | 宋建军、石刚、王立军、冯当朝 |
| 12 | 蓝宝石晶体生长装置、长晶炉及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610869486.5 | 2026-06-15 | CN122522392A | 2026-08-07 | 宋建军、石刚、王立军、冯当朝 |
| 13 | 导向机构、采用该导向机构的裁切装置以及流延机 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610685402.2 | 2026-05-18 | CN122482272A | 2026-07-31 | 王金荣、曹建伟、朱亮、杨志泉、焦荣辉 |
| 14 | 一种微孔加工方法、装置以及工件 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610636550.5 | 2026-05-09 | CN122322967A | 2026-07-03 | 王金荣、曹建伟、朱亮、傅林坚、樊叶萍、邓江山 |
| 15 | 抛光系统及抛光方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610582606.3 | 2026-04-28 | CN122378565A | 2026-07-14 | 朱亮、李阳健、郑猛、邓耀敏、黄金涛、穆炳宏 |
| 16 | 抛光系统及抛光方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610579412.8 | 2026-04-28 | CN122378585A | 2026-07-14 | 朱亮、李阳健、郑猛、黄金涛、穆炳宏 |
| 17 | 一种空气主轴监测预警方法、监测预警系统、计算机设备以及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610479545.8 | 2026-04-13 | CN122223911A | 2026-06-16 | 朱亮、谢龙辉、孙菁阳、王宁银、宋帅礼、杨浪 |
| 18 | 一种空气主轴、控制方法及减薄机 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610480218.4 | 2026-04-13 | CN122274841A | 2026-06-26 | 朱亮、谢龙辉、孙菁阳、王宁银、宋帅礼 |
| 19 | 一种线切机的监测方法和线切机 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610483473.4 | 2026-04-13 | CN122323054A | 2026-07-03 | 王金荣、朱亮、王家濠 |
| 20 | 一种空气主轴监测方法、系统和空气主轴 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610479527.X | 2026-04-13 | CN122545096A | 2026-08-11 | 朱亮、谢龙辉、孙菁阳、王宁银、宋帅礼 |
| 21 | 复合电主轴 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610459892.4 | 2026-04-09 | CN122299521A | 2026-06-30 | 王金荣、朱亮、曹建伟、林少健、钱勇明 |
| 22 | 软模组件烘干装置 | 发明专利 | 公布 | CN202610433292.0 | 2026-04-02 | CN122467861A | 2026-07-28 | 张杭军、徐伟强、冯徐鑫、郑权、张广犬、崔泰磊 |
| 23 | 软模脱模装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610432737.3 | 2026-04-02 | CN122517608A | 2026-08-07 | 张杭军、郑权、徐伟强、冯徐鑫、张广犬、崔泰磊 |
| 24 | 工艺参数测算方法、切割系统、计算机及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610424775.4 | 2026-04-01 | CN122384674A | 2026-07-14 | 王金荣、朱亮、侯天麒、赵翔宇、杨洁、刘华 |
| 25 | 一种陶瓷基座面型预测方法、预测系统以及减薄设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610362295.X | 2026-03-24 | CN122365819A | 2026-07-10 | 张俊、杨潮、王嘉梁、潘凌煜 |
| 26 | 一种相机自动对焦方法、装置、电子设备以及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610357276.8 | 2026-03-20 | CN122372836A | 2026-07-10 | 刘华、葛凯凯、沈华、傅林坚 |
| 27 | 晶片脱胶清洗机 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610233965.8 | 2026-02-27 | CN122252405A | 2026-06-23 | 谢龙辉、王俊、刘彪、黄游、王凯、高子健 |
| 28 | 单晶硅拉制工艺用超导磁体及工艺磁场的调节方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610091348.9 | 2026-01-22 | CN121983407A | 2026-05-05 | 朱亮、张瀛、牛加振、张锋、吴志彬 |
| 29 | 一种晶棒检测方法、装置和设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512036521.3 | 2025-12-30 | CN121702304A | 2026-03-20 | 张杭军、曹震、朱肖营、王久洲、康新领、张广犬 |
| 30 | 晶圆激光退火的控制方法、晶圆激光退火方法及相关装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512042015.5 | 2025-12-30 | CN121985796A | 2026-05-05 | 王悦、朱亮、金芊池、陈淑楠 |
| 31 | 一种减薄方法和装置 | 发明专利 | 公布 | CN202512015532.3 | 2025-12-29 | CN121624664A | 2026-03-10 | 王金荣、朱亮、曹建伟、喻捷基 |
| 32 | 碳化硅晶锭粘接装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202512016071.1 | 2025-12-29 | CN121653848A | 2026-03-13 | 曹建伟、朱亮、王金荣、沈振宏、董凯 |
| 33 | 一种石英坩埚缺陷检测设备 | 发明专利 | 公布 | CN202512037116.3 | 2025-12-29 | CN121678539A | 2026-03-17 | 刘华、沈华、曾若琪、陈双、傅林坚 |
| 34 | 一种陶瓷基板加工方法、系统及设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512023049.X | 2025-12-29 | CN121716170A | 2026-03-24 | 王金荣、朱亮、杨志泉、金峰 |
| 35 | 一种陶瓷基板加工的流延方法、系统及设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512015965.9 | 2025-12-29 | CN121733686A | 2026-03-27 | 王金荣、朱亮、杨志泉 |
| 36 | 一种陶瓷基板加工的脱泡方法、系统、设备及存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202512037177.X | 2025-12-29 | CN121819405A | 2026-04-10 | 王金荣、朱亮、杨志泉 |
| 37 | 晶片脱胶分片设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512016347.6 | 2025-12-29 | CN121865877A | 2026-04-14 | 谢龙辉、王俊、刘彪、王凯、张江水、朱亮 |
| 38 | 方形晶片的加工方法、系统及设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512025823.0 | 2025-12-29 | CN121985773A | 2026-05-05 | 朱亮、李阳健、赵志鹏、先泽文、郭星来 |
| 39 | 基板缓存装置 | 发明专利 | 授权 | CN202511872475.4 | 2025-12-11 | CN121292125B | 2026-04-14 | 张杭军、谢可馨、张广犬、苏毅、曹俊瑶 |
| 40 | 金刚石生长装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511804877.0 | 2025-12-02 | CN121675073A | 2026-03-17 | 曹建伟、倪军夫、高宇、刘成波、董熔成、陈焕 |
| 41 | 超导线性能检测设备及系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511803974.8 | 2025-12-02 | CN122017695A | 2026-05-12 | 朱亮、张瀛、侯一凡、牛加振、吴志彬 |
| 42 | 硅晶圆图像缺陷检测方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511794555.2 | 2025-12-01 | CN121811100A | 2026-04-07 | 傅林坚、刘华、陈建华、苏奥远、陈双 |
| 43 | 一种超声微孔加工方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511719204.5 | 2025-11-21 | CN121374299A | 2026-01-23 | 王金荣、朱亮、曹建伟、樊叶萍 |
| 44 | 一种超声微孔加工方法和装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511724496.1 | 2025-11-21 | CN121514980A | 2026-02-13 | 王金荣、曹建伟、朱亮、樊叶萍、邓江山 |
| 45 | 晶圆形貌检测数据的补偿方法 | 发明专利 | 授权 | CN202511576838.X | 2025-10-30 | CN121025985B | 2026-01-30 | 王悦、朱亮、王佳锋、王淼操、金子乾 |
| 46 | 多线切割工艺参数在线控制方法 | 发明专利 | 授权 | CN202511543913.2 | 2025-10-27 | CN121386652B | 2026-08-07 | 朱亮、王金荣、曹建伟、张安师 |
| 47 | 晶棒切片加工方法及线切机 | 发明专利 | 授权 | CN202511485412.3 | 2025-10-17 | CN120985823B | 2026-03-13 | 王金荣、曹建伟、朱亮、沈振宏、董凯 |
| 48 | 一种电池片载体、分片电池串加工方法以及分片电池串 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511429085.X | 2025-09-30 | CN121215596A | 2025-12-26 | 朱亮、卢嘉彬、曹建伟、傅林坚 |
| 49 | 测温结构及立式炉管 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效 | CN202511339634.4 | 2025-09-17 | CN120820244B | 2025-12-02 | 曹建伟、龚碧瑶、傅林坚、朱亮、刘毅、谢文、徐晓望 |
| 50 | 用于掩膜片的清洗设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511336710.6 | 2025-09-17 | CN121289203A | 2026-01-09 | 谢龙辉、蒲涛、王凯、吴建国、夏希林、柴宏录 |
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