科创半导体设备ETF鹏华（589020）开盘涨0.31%，重仓股中微公司涨0.50%，拓荆科技涨1.04%

3月20日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）开盘涨0.31%，报1.300元。科创半导体设备ETF鹏华（589020）重仓股方面，中微公司开盘涨0.50%，拓荆科技涨1.04%，华海清科涨0.58%，沪硅产业涨0.48%，中科飞测涨0.67%，安集科技涨0.28%，芯源微涨1.12%，天岳先进涨0.46%，华峰测控涨1.89%，盛美上海涨1.00%。

科创半导体设备ETF鹏华（589020）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为鹏华基金管理有限公司，基金经理为林嵩，成立（2025-08-27）以来回报为29.31%，近一个月回报为-10.13%。