导读:芯碁微装取得板材输送机构相关专利,该机构保障板材输送与机械臂抓取顺畅
8月27日消息,国家知识产权局信息显示,合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“一种用于机械臂抓取的板材输送机构”的专利,授权公告号CN118419593B,授权公告日为2026年8月25日。申请公布号为CN118419593A,申请号为CN202410689878.4,申请公布日期为2026年8月25日,申请日期为2024年5月30日,发明人康站力、徐欣、李香滨,专利代理机构合肥天明专利事务所(普通合伙),专利代理师娄岳,分类号B65G49/06、B65G13/06。
专利摘要显示,本发明公开了一种用于机械臂抓取的板材输送机构,包括输送组件,该输送组件包括传动轴,该传动轴的外周面的相切面形成输送面;上压滚轮组件,该上压滚轮组件为平行四边形框架,上压滚轮组件包括上压滚轮,该上压滚轮的轴线处端面与输送面垂直;板材,该板材与传动轴、上压滚轮相切。本发明通过设置的旋转伸缩气缸带动连接杆转动,连接杆带动可调节摆臂相对远离,可调节摆臂又与滚轮安装板转动连接,使得上压滚轮组件为边可转动的平行四边形框架,使得安装在滚轮安装板上的上压滚轮在旋转伸缩气缸的带动下能够远离板材后离开板材上方空间,使得吸盘能够抓取板材,也可以与纠偏轮一起挤压板材,使得板材弯曲部分贴紧纠偏轮,提高输送稳定性。
芯碁微装是国内直写光刻设备领域领先企业,专注微纳直写光刻相关设备研发制造,具备全产业链布局优势。公司成立于2015年6月30日,于2021年4月1日在上海证券交易所上市,注册地为安徽省,办公地跨安徽省与香港特别行政区。
芯碁微装主营业务围绕微纳直写光刻技术核心,开展直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售与配套维保服务,产品覆盖PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统等品类,功能覆盖微米到纳米级多领域光刻环节,所属申万行业为机械设备-专用设备-其他专用设备,同时布局半导体设备、光刻胶、光刻机三大热门概念板块。
2026年上半年,芯碁微装实现营业收入11.06亿元,在所属行业73家企业中排名第16位,高于行业平均8.94亿元、行业中位数4.38亿元的水平,同期行业营收前两位分别为科达制造103.92亿元、大族数控49.85亿元;当期公司实现净利润2.81亿元,行业排名第5/73,远超行业平均8256.52万元、行业中位数2734.04万元,行业净利润前两位分别为科达制造19.73亿元、大族数控9.69亿元。营收结构中,激光直写成像设备贡献11.02亿元,占比达99.65%,其余补充类业务收入382.92万元,占比0.35%。
| 指标类别 | 具体指标 | 芯碁微装2026年上半年数值 | 行业对比情况 |
|---|---|---|---|
| 营收表现 | 营业收入 | 11.06亿元 | 行业排名16/73,高于行业均值8.94亿元、中位数4.38亿元,前两名分别为科达制造103.92亿元、大族数控49.85亿元 |
| 营收构成 | 激光直写成像设备收入 | 11.02亿元 | 占总营收比重99.65% |
| 营收构成 | 其他补充业务收入 | 382.92万元 | 占总营收比重0.35% |
| 利润表现 | 净利润 | 2.81亿元 | 行业排名5/73,远超行业均值8256.52万元、中位数2734.04万元,前两名分别为科达制造19.73亿元、大族数控9.69亿元 |
合肥芯碁微电子装备股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种基于激光干涉仪闭环反馈的工件台位置误差补偿方法及系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610613836.1 | 2026-05-07 | CN122467969A | 2026-07-28 | 卞洪飞、李嘉杰、高天、安刚辉、孙玉涛、戴晓霖 |
| 2 | 一种直写式光刻机高阶灰度曝光控制方法、装置 | 发明专利 | 公布 | CN202610354092.6 | 2026-03-23 | CN122449850A | 2026-07-24 | 王超、周明如、谢鹍 |
| 3 | 基于拼板的曝光台面标定方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610313547.X | 2026-03-16 | CN122110620A | 2026-05-29 | 张辉、张润晨、叶加良、陈东 |
| 4 | 玻璃基板激光打标工作台 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610219521.9 | 2026-02-24 | CN121848002A | 2026-04-14 | 叶飞 |
| 5 | 直写式光刻机及扫描曝光方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610146096.5 | 2026-02-02 | CN121900112A | 2026-04-21 | 徐从浩、赵美云 |
| 6 | 一种改善PCB油墨色差的多次曝光偏移方法及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610107704.1 | 2026-01-27 | CN121763669A | 2026-03-31 | 孟鑫瑞、贾威强 |
| 7 | 直写式光刻机及其曝光同步诊断方法和信号同步处理单元 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610093213.6 | 2026-01-23 | CN121763668A | 2026-03-31 | 徐从浩、童诚、王振亚 |
| 8 | 一种用于印刷电路板PCB的检测方法及系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610020506.1 | 2026-01-08 | CN121784849A | 2026-04-03 | 章晋凡、刘鑫、沈古飞、焦官华 |
| 9 | 基于提前测距的动态追焦光学测量系统、方法及设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512001839.8 | 2025-12-29 | CN121741698A | 2026-03-27 | 谢鹍、张润晨、石庆林 |
| 10 | 一种可折展的压紧机构及LDI设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520797048.3 | 2025-04-24 | CN224005412U | 2026-03-17 | 汪志全、梁旭 |
| 11 | 一种对并排印刷电路板侧边区域形成八边压紧的压紧装置及LDI设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520797055.3 | 2025-04-24 | CN224319777U | 2026-06-02 | 汪志全、梁旭 |
| 12 | 光学测距装置和激光直写曝光机 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510416740.1 | 2025-04-03 | CN120293010A | 2025-07-11 | 徐剑锋、穆璐、姜蔚然 |
| 13 | 激光加工装置和激光加工系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202510309673.3 | 2025-03-17 | CN120095316A | 2025-06-06 | 刘孟辉、赵尚州 |
| 14 | 用于无掩模板直写光刻曝光机的吸盘电势监控系统及直写光刻曝光机 | 实用新型 | 授权 | CN202520419485.1 | 2025-03-11 | CN224020147U | 2026-03-20 | 葛星雨、朱会敏、曹桂林、卢小齐、孙文彪 |
| 15 | 吸附组件及具有其的曝光装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510276930.8 | 2025-03-10 | CN119987158A | 2025-05-13 | 叶飞、程刚、项宗齐、汪涛 |
| 16 | 吸附组件及具有其的曝光装置 | 实用新型 | 授权 | CN202520372061.4 | 2025-03-05 | CN223692643U | 2025-12-19 | 于成信 |
| 17 | LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机 | 发明专利 | 授权 | CN202510225750.7 | 2025-02-27 | CN119805889B | 2025-11-28 | 赵祥宝、蔡志鸿 |
| 18 | LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机 | 发明专利 | 授权 | CN202510224817.5 | 2025-02-27 | CN119805888B | 2026-04-10 | 赵祥宝、郑超、朱远哲、高晓锋 |
| 19 | 一种抖动分板装置 | 实用新型 | 授权 | CN202520211748.X | 2025-02-11 | CN223792483U | 2026-01-13 | 陆原、束义、刘汉云 |
| 20 | 应用于直写光刻机的纠偏对位方法及装置、介质和光刻机 | 发明专利 | 授权 | CN202510148769.6 | 2025-02-11 | CN119805879B | 2026-04-03 | 王克、程建高 |
| 21 | 一种双台面曝光机 | 实用新型 | 授权 | CN202520171673.7 | 2025-01-25 | CN223796823U | 2026-01-13 | 于成信 |
| 22 | 一种曝光面剂量修正系统 | 实用新型 | 授权 | CN202520171669.0 | 2025-01-25 | CN223796822U | 2026-01-13 | 李志豪、董邦林、穆璐、宋照爱 |
| 23 | 一种插框自动收放板装置 | 发明专利 | 授权 | CN202510120189.6 | 2025-01-25 | CN119822052B | 2026-03-13 | 焦官华、陆原、束义、刘汉云 |
| 24 | 一种插板夹持装置 | 发明专利 | 授权 | CN202510120188.1 | 2025-01-25 | CN119822051B | 2026-03-17 | 陆原、焦官华、束义、刘汉云 |
| 25 | 运动曝光工作台、曝光系统和曝光的控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510110128.1 | 2025-01-23 | CN119644681A | 2025-03-18 | 李辉 |
| 26 | 运动曝光工作台及具有其的曝光系统 | 实用新型 | 授权 | CN202520160598.4 | 2025-01-23 | CN223911162U | 2026-02-13 | 李辉 |
| 27 | 基于偏转镜实现光束分束及调控的激光并行加工设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520083435.0 | 2025-01-14 | CN223932816U | 2026-02-24 | 刘孟辉 |
| 28 | 激光钻孔独立动态调控的多AOM级联设备 | 实用新型 | 授权 | CN202520083520.7 | 2025-01-14 | CN223932871U | 2026-02-24 | 刘孟辉 |
| 29 | 提升UV激光钻孔加工工艺的激光钻孔设备 | 发明专利 | 授权 | CN202510057567.0 | 2025-01-14 | CN119794623B | 2026-07-17 | 刘孟辉、赵尚州 |
| 30 | 激光二极管的散热装置、高功率半导体激光器及组装方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510016572.7 | 2025-01-06 | CN119994629A | 2025-05-13 | 刘亮、杨凯 |
| 31 | 一种半导体空间光激光器镜片的调试工装及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510016571.2 | 2025-01-06 | CN120002560A | 2025-05-16 | 刘亮、杨凯 |
| 32 | 激光器外壳及半导体空间光激光器 | 实用新型 | 授权 | CN202520025368.7 | 2025-01-06 | CN223797724U | 2026-01-13 | 刘亮、金伟龙、杨凯 |
| 33 | 曝光装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423309294.4 | 2024-12-31 | CN223566032U | 2025-11-18 | 叶飞 |
| 34 | 应用于光头底板的散热机构及其曝光机 | 实用新型 | 授权 | CN202423314307.7 | 2024-12-31 | CN223712003U | 2025-12-23 | 张文龙、梁旭 |
| 35 | 直写式光刻机曝光控制方法及装置、介质和直写式光刻机 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411904595.3 | 2024-12-23 | CN119556532A | 2025-03-04 | 王超、梅文辉、赵美云、邵德洋 |
| 36 | 自动上下料装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423178878.2 | 2024-12-23 | CN223572237U | 2025-11-21 | 张亮、赵尚州、李辉、岳览 |
| 37 | 吸附总成及具有其的光刻装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202411726109.3 | 2024-11-28 | CN119511647A | 2025-02-25 | 侯庆伟、汪涛 |
| 38 | 提高无掩膜光刻机曝光功率密度的装置、方法及光刻机 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202411720670.0 | 2024-11-28 | CN119292005B | 2025-10-10 | 卞洪飞、张辉、叶加良、陈东 |
| 39 | 基于空间光调制的双波段激光图形化微纳制造装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411700772.6 | 2024-11-26 | CN119387805A | 2025-02-07 | 张辉、卞洪飞、叶加良、陈东 |
| 40 | 夹取装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422891408.4 | 2024-11-26 | CN223385416U | 2025-09-26 | 李冬青、李香滨、焦官华、徐欣 |
| 41 | 一种真空吸附固定式晶圆载台 | 实用新型 | 授权 | CN202422718008.3 | 2024-11-06 | CN223598699U | 2025-11-25 | 于成信 |
| 42 | 夹紧总成及具有其的光刻装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422674996.6 | 2024-11-04 | CN223666547U | 2025-12-12 | 王历先、梁旭、张文龙 |
| 43 | 一种能够快速更换过滤器的风机过滤装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422675578.9 | 2024-11-01 | CN223425389U | 2025-10-10 | 程强 |
| 44 | 曝光总成及具有其的光刻设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411543995.6 | 2024-10-31 | CN119126500A | 2024-12-13 | 张浩为、刘孟辉、武林 |
| 45 | 一种用于LDI设备的气动遮光装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422670377.X | 2024-10-31 | CN223401139U | 2025-09-30 | 张文龙 |
| 46 | 一种用于DMD芯片散热的水冷系统 | 实用新型 | 授权 | CN202422670371.2 | 2024-10-31 | CN223598092U | 2025-11-25 | 张文龙、梁旭、王历先 |
| 47 | 单台面LDI曝光机 | 外观专利 | 授权 | CN202430676628.8 | 2024-10-25 | CN309380230S | 2025-07-11 | 王历先、项宗齐、梁旭 |
| 48 | FPD边缘曝光打码设备 | 外观专利 | 授权 | CN202430676627.3 | 2024-10-25 | CN309385911S | 2025-07-15 | 程强 |
| 49 | 高效单机双面曝光设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411492573.0 | 2024-10-24 | CN119200348A | 2024-12-27 | 曲鲁杰、程刚 |
| 50 | 高效单机双面曝光设备 | 实用新型 | 授权 | CN202422576617.X | 2024-10-24 | CN223217782U | 2025-08-12 | 曲鲁杰、程刚 |
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